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概述：
产品名称：高纯铱靶
计量单位：克
纯度：3N5
执行标准：GBn67-83
产品特点及用途：靶材在溅射沉积技术中用作阴极的材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
品名 | 铱靶(Ir) | ||
执行标准 | GB/T 1422-2004 | ||
主金属含量（%） | 99.99 | 99.95 | |
杂质含量不大于（%） | Pt | 0.003 | 0.02 |
Pd | 0.001 | 0.01 | |
Rh | 0.003 | 0.02 | |
Ir | |||
Ru | 0.003 | 0.02 | |
Au | 0.001 | 0.01 | |
Ag | 0.001 | 0.005 | |
Cu | 0.002 | 0.005 | |
Fe | 0.002 | 0.005 | |
Ni | 0.001 | 0.005 | |
Al | 0.003 | 0.005 | |
Pb | 0.001 | 0.005 | |
Mn | 0.002 | 0.005 | |
Cr | |||
Mg | 0.002 | 0.005 | |
Sn | 0.001 | 0.005 | |
Si | 0.003 | 0.005 | |
Zn | 0.002 | 0.005 | |
Bi | |||
Sb | |||
As | |||
杂质总量不大于（% ） | 0.01 | 0.05 | |
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